氧化锌薄膜光电性质对于厚度的依赖性研究文献综述

氧化锌(ZnO)作为一种Ⅱ-Ⅵ族直接带隙半导体材料，因其具有宽禁带（3.37eV）、高激子束缚能（60meV）、优异的光电性能以及低成本等特点，在光电子器件领域受到了广泛关注。

而薄膜厚度作为制备ZnO薄膜的关键参数之一，对其光电性质有着显著影响。

本文综述了ZnO薄膜的制备方法，重点阐述了不同厚度ZnO薄膜的光学性质(透射率、吸收率、光学带隙)和电学性质(载流子浓度、迁移率、电阻率)，以及厚度对这些性质的影响机制。

此外，还介绍了ZnO薄膜在光电器件方面的应用，并展望了其未来发展趋势。

关键词：氧化锌薄膜；厚度依赖性；光电性质；制备方法；光电子器件

随着社会对能源需求的不断增长以及环境问题的日益严峻，开发清洁、高效的新能源技术迫在眉睫。

太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的可再生能源，其开发利用受到世界各国的普遍重视。

光伏发电技术是利用太阳能最直接、最有效的方式之一，而高效、低成本的太阳能电池是实现光伏发电技术大规模应用的关键。

氧化锌(ZnO)作为一种Ⅱ-Ⅵ族直接带隙半导体材料，因其具有宽禁带（3.37eV）、高激子束缚能（60meV）、优异的光电性能以及低成本等特点，在光电子器件领域受到了广泛关注。

ZnO薄膜可以作为透明导电氧化物(TCO)材料应用于太阳能电池、发光二极管(LED)、液晶显示器(LCD)等领域。